澳门人威尼斯4399一种电子级硫酸的制备工艺[发明专利]发明内容 [0005] (一)解决的技术问题 [0006] 针对现有技术的不足，本发明提供了一种电子级硫酸的制备工艺，解决了现有技 术能耗大，成本高，有些杂质难以除去 ,产生的废气、酸雾对有害 ,不利于环境保护，只 适合于小规模生产的问题。 [0007] (二)技术方案 [0008] 为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种电子级硫酸的制备工 艺，包括以下步骤： [0009] S1 .首先将准备好的三氧化硫气体通入除雾器除雾，然后将除雾处理后的气体通 入到吸收塔内； [0010] S2 .打开吸收塔上设置的超纯水阀门向吸收塔内通入超纯水，超纯水将三氧化硫 气体吸收生成高纯硫酸溶液，然后生成的高纯硫酸溶液从吸收塔流入混合槽内； [0011] S3 .将混合槽的高纯硫酸溶液经由泵输送至冷却器冷却，冷却后的硫酸再次回到 吸收塔内吸收三氧化硫气体 ，使得高纯硫酸浓度继续提升 ，然后再次流入到混合槽内 ，这一 过程一直保持循环 ，直到混合槽液位上升至指定溢流口 ，高纯度硫酸溢流至曝气塔 ； [0012] S4 .打开曝气塔氮气阀门，在曝气塔内通入高压高纯氮气，高压高纯氮气对硫酸溶 液进行吹脱，去除其中的二氧化硫气体，去除掉二氧化硫气体的硫酸进入成品储槽存放； [0013] S5 .将成品储槽内的高纯度硫酸通入过滤器内进行高精度过滤澳门人威尼斯官网，然后将过滤后的 硫酸进行充填处理得到电子级硫酸；
背景技术 [0002] 电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净的关键基础化学试剂 ,广泛应用于 半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程，主要用于硅晶片的清洗和蚀刻 ,可有效除去 晶片 .上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元件的成 品率、电性能及可靠性有着重要的影响。 [0003] 目前，中国已成为世界IT工业和液晶显示器(LCD)需求增长最快的国家 ,中国优势 企业的竞争力正在不断增强 ,长期成长空间巨大 ,已成为化工行业中发展速度最快、最具活 力的行业之一。而与之配套的超净高纯试剂的需求也是逐步增加 ,电子级硫酸的消耗量约 占高纯试剂总量的30％ ,电子级硫酸的市场需求前景广阔。 [0004] 目前，中国电子级硫酸的生产一般采用精馏法，常压精馏的温度高达330C ,对设备 材质要求较高；减压精馏的温度为175～190C ,压力为1 .33～2 .67kPa。精馏法能耗大，成本 高，有些杂质难以除去 ,产生的废气、酸雾对有害 ,不利于环境保护，只适合于小规模生 产。
(71)申请人 福建天甫电子材料有限公司 地址 364000 福建省龙岩市上杭县蛟洋镇 坪埔村新村路71号3层
1 .一种电子级硫酸的制备工艺，其特征在于：包括以下步骤： S1 .首先将准备好的三氧化硫气体通入除雾器除雾，然后将除雾处理后的气体通入到 吸收塔内； S2 .打开吸收塔上设置的超纯水阀门向吸收塔内通入超纯水，超纯水将三氧化硫气体 吸收生成高纯硫酸溶液，然后生成的高纯硫酸溶液从吸收塔流入混合槽内； S3 .将混合槽的高纯硫酸溶液经由泵输送至冷却器冷却，冷却后的硫酸再次回到吸收 塔内吸收三氧化硫气体 ，使得高纯硫酸浓度继续提升 ，然后再次流入到混合槽内 ，这一过程 一直保持循环 ，直到混合槽液位上升至指定溢流口 ，高纯度硫酸溢流至曝气塔 ； S4 .打开曝气塔氮气阀门，在曝气塔内通入高压高纯氮气，高压高纯氮气对硫酸溶液进 行吹脱，去除其中的二氧化硫气体，去除掉二氧化硫气体的硫酸进入成品储槽存放； S5 .将成品储槽内的高纯度硫酸通入过滤器内进行高精度过滤，然后将过滤后的硫酸 进行充填处理得到电子级硫酸； S6 .吸收塔尾气通入尾气吸收塔，即一级水洗塔，然后向尾气吸收塔内通入超纯水，尾 气中的三氧化硫经被超纯水洗涤下来，生成硫酸，流到副产品槽内； S7 .将尾气吸收塔内处理过的气体以及其他尾气通入到二级水洗塔内，向二级水洗塔 内加入双氧水澳门人威尼斯官网，双氧水与尾气中二氧化硫反应成硫酸，排放到副产品槽； S8 .将副产品槽内的硫酸经过充填处理得到工业级硫酸； S9 .将二级水洗塔内处理过的尾气通入一级碱洗塔，向一级碱洗塔内通入NaOH溶液，处 理后产生的废水通入工厂的废水处理站，处理后产生的废气高空排放。 2 .根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺，其特征在于：所述步骤S2中的向 吸收塔内通入超纯水的流量控制在150-200kg/h。 3 .根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺，其特征在于：所述吸收塔内的液 位控制在80％-90％。 4 .根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺，其特征在于：所述步骤S4中向曝 气塔中通入的氮气的压力为3kg/cm3。 5 .根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺，其特征在于：所述步骤S7中的其 他尾气包括混合槽、成品储槽、副产品槽以及充填过程生成的硫酸雾，还包括曝气塔产生的 氮气和二氧化硫气体。 6 .根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺，其特征在于：所述步骤S7中的双 氧水溶液中H2O和H2O2的的比例为1：8。 7 .根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺，其特征在于：所述步骤S9中的 NaOH溶液中NaOH和H2O的比例为1：1152。
及化工产品制备技术领域。该电子级硫酸的制备 工艺，包括以下步骤：S1 .首先将准备好的三氧化 硫气体通入除雾器除雾，然后将除雾处理后的气 体通入到吸收塔内；S2 .打开吸收塔上设置的超 纯水阀门向吸收塔内通入超纯水，超纯水将三氧 化硫气体吸收生成高纯硫酸溶液，然后生成的高 纯硫酸溶液从吸收塔流入混合槽内；S3 .将混合 槽的高纯硫酸溶液经由泵输送至冷却器冷却，冷 却后的硫酸再次回到吸收塔内吸收三氧化硫气 体。本发明 提供一 种电 子级硫酸的 制备工艺 ，该 方法耗能以及成本都比较低澳门人威尼斯官网，并且拥有较高的杂 质去除率，同时制备的过程中生成的污染气体大 部分都被处理干净 ，对环境产生的 污染很小 ，非 常适合大规模生产。