澳门人威尼斯4399精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产装置pdf

  新闻资讯     |      2024-08-04 08:51

  澳门人威尼斯4399精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产装置pdf本发明公开了精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产装置,涉及硫酸生产技术领域,具体为精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产装置,包括精制酸吸收塔,所述精制酸吸收塔的左侧安装有加热室,所述加热室的内部安装有加热部件;净化室,其设置在所述精制酸吸收塔的内部;精制硫酸脱气塔,其安装在所述精制酸吸收塔的右侧;高纯水箱,其安装在所述精制硫酸脱气塔的上方,所述高纯水箱的左侧安装有高纯水管。该精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产装置通过高纯水管能够将高纯水输送至精制酸吸收塔内,避免了现有的电子工业用硫酸生产

  (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113104817 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 9.4 (22)申请日 2021.05.14 (71)申请人 钟祥市大生化工有限公司 地址 431915 湖北省钟祥市磷矿镇刘冲村 (72)发明人 陈景爱 (74)专利代理机构 深圳至诚化育知识产权代理 事务所(普通合伙) 44728 代理人 刘英 (51)Int.Cl. C01B 17/76 (2006.01) C01B 17/765 (2006.01) C01B 17/80 (2006.01) C01B 17/90 (2006.01) B01D 53/78 (2006.01) B01D 53/40 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产装 置 (57)摘要 本发明公开了精制98%电子工业用硫酸生 产方法及生产装置,涉及硫酸生产技术领域,具 体为精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产 装置,包括精制酸吸收塔,所述精制酸吸收塔的 左侧安装有加热室,所述加热室的内部安装有加 热部件;净化室,其设置在所述精制酸吸收塔的 内部;精制硫酸脱气塔,其安装在所述精制酸吸 收塔的右侧;高纯水箱,其安装在所述精制硫酸 脱气塔的上方,所述高纯水箱的左侧安装有高纯 水管。该精制98%电子工业用硫酸生产方法及生 产装置通过高纯水管能够将高纯水输送至精制 A 酸吸收塔内,避免了现有的电子工业用硫酸生产 7 方法及生产装置在生产硫酸过程中,外部杂质易 1 8 4 伴随水一起进入硫酸内,对硫酸生产精度造成影 0 1 3 响的问题。 1 1 N C CN 113104817 A 权利要求书 1/2页 1.精制98%电子工业用硫酸生产装置,其特征在于,包括: 精制酸吸收塔澳门人威尼斯4399,所述精制酸吸收塔的左侧安装有加热室,所述加热室的内部安装有加 热部件; 输液管道,其安装在所述加热部件的上方; 净化室澳门人威尼斯官网,其设置在所述精制酸吸收塔的内部,所述净化室的左侧设置有出气口; 精制硫酸脱气塔,其安装在所述精制酸吸收塔的右侧; 高纯水箱澳门人威尼斯4399,其安装在所述精制硫酸脱气塔的上方,所述高纯水箱的左侧安装有高纯水 管; 硫酸储存罐,其固定安装在所述精制硫酸脱气塔的右侧。 2.根据权利要求1所述的精制98%电子工业用硫酸生产装置,其特征在于:所述输液管 道还设有: 第一循环槽,其连接在所述输液管道的末端,所述第一循环槽的下方安装有第二循环 槽。 3.根据权利要求2所述的精制98%电子工业用硫酸生产装置,其特征在于:所述第二循 环槽还设有: 第一喷淋头,其均匀等距分布在所述第二循环槽的内部,所述第二循环槽的左侧安装 有循环管道。 4.根据权利要求1所述的精制98%电子工业用硫酸生产装置,其特征在于:所述净化室 还设有: 防水透气板,其安装在所述净化室的右侧,所述净化室的内部安装有第二喷淋头,所述 第二喷淋头的右侧连接有碱液管道,所述碱液管道的左侧连接有碱液箱。 5.根据权利要求所述的精制98%电子工业用硫酸生产装置,其特征在于:所述第一循 环槽还设有: 硫酸输送管,其安装在所述第一循环槽的内部,所述硫酸输送管的末端与所述精制硫 酸脱气塔相连接。 6.根据权利要求1所述的精制98%电子工业用硫酸生产装置,其特征在于:所述精制硫 酸脱气塔还设有: 水合肼箱,其固定在所述精制硫酸脱气塔的下方,所述水合肼箱的右侧安装有双氧水 箱; 联动轴,其安装在所述精制硫酸脱气塔的内部。 7.根据权利要求6所述的精制98%电子工业用硫酸生产装置,其特征在于:所述联动轴 还设有: 搅拌棒,其等距均匀分布在所述联动轴的外壁; 驱动电机,其安装在所述联动轴的上方; 成品分析模块,其安装在所述联动轴的下方,所述成品分析模块的右侧安装有磁力泵, 所述磁力泵的输入端连接有PLC。 8.根据权利要求1所述的精制98%电子工业用硫酸生产装置,其特征在于:所述硫酸储 存罐还设有: 储气罐,其安装在所述硫酸储存罐的上方,所述储气罐的左侧安装有输气管道。 2 2 CN 113104817 A 权利要求书 2/2页 9.根据权利要求1所述的精制98%电子工业用硫酸生产装置,其特征在于:所述精制酸 吸收塔还设有: 传热管,其均匀分布在所述精制酸吸收塔的外部,所述传热管与所述精制酸吸收塔之 间相贴合。 10.精制98%电子工业用硫酸生产方法,其特征在于:包括以下步骤: S1、将液态三氧化硫低温下微沸腾通入精制酸吸收塔; S2、在第一循环槽中加入电子级高纯水将第一循环槽中的硫酸浓度控制在98%; S3、硫酸在在第一循环槽和第二循环槽内循环吸收三氧化硫; S4澳门人威尼斯官网、对第一循环槽和第二循环槽内的硫酸进行冷却; S5、将冷却后的硫酸分为二路,一路在第二循环槽进行喷淋让其吸收三氧化硫; S6、对产生的酸雾进行净化; S7、冷却后的硫酸另一路进入精制硫酸脱气塔: S8、向精制硫酸脱气塔内加入双氧水和水合肼; S9、向精制硫酸脱气塔内通入精制压缩空气,并对其进行搅拌; S10、对搅拌后的硫酸进行分析; S11、排放符合标准的硫酸,并对其进行储存。 3 3 CN 113104817 A 说明书 1/6页 精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产装置 技术领域 [0001] 本发明涉及硫酸生产技术领域,具体为精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产 装置。 背景技术 [0002] 电子工业是制造电子设备、电子元件、电子器件及其专用原材料的工业部门澳门人威尼斯37000,工业 硫酸是一种油状的液体,一般看起来是无色透明状的,硫酸的密度比水的密度大,溶于水是 放出大量的热,有强烈的腐蚀性和脱水性,将一定比例的三氧化硫和水混合可制得硫酸。硫 酸是一种重要的化工原料,用途十分广泛。 [0003] 现有的电子工业用硫酸生产方法及生产装置在生产硫酸过程中,易存在外部杂质 伴随混合水一起进入硫酸内,对硫酸生产的精度造成影响,且在生产硫酸过程中缺乏对酸 中微量氮氧化物的溶解,影响所得硫酸的品质。 发明内容 [0004] 针对现有技术的不足,本发明提供了精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产装 置,解决了上述背景技术中提出现有的电子工业用硫酸生产方法及生产装置在生产硫酸过 程中,易存在外部杂质伴随混合水一起进入硫酸内,对硫酸生产的精度造成影响,且在生产 硫酸过程中缺乏对酸中微量氮氧化物的溶解,影响所得硫酸品质的问题。 [0005] 为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:精制98%电子工业用硫酸 生产方法及生产装置,包括: [0006] 精制酸吸收塔,所述精制酸吸收塔的左侧安装有加热室,所述加热室的内部安装 有加热部件; [0007] 输液管道,其安装在所述加热部件的上方; [0008] 净化室,其设置在所述精制酸吸收塔的内部,所述净化室的左侧设置有出气口; [0009] 精制硫酸脱气塔,其安装在所述精制酸吸收塔的右侧; [0010] 高纯水箱,其安装在所述精制硫酸脱气塔的上方,所述高纯水箱的左侧安装有高 纯水管; [0011] 硫酸储存罐,其固定安装在所述精制硫酸脱气塔的右侧。 [0012] 可选的,所述输液管道还设有: [0013] 第一循环槽,其连接在所述输液管道的末端澳门人威尼斯4399,所述第一循环槽的下方安装有第二 循环槽。 [0014] 可选的,所述第二循环槽还设有: [0015] 第一喷淋头,其均匀等距分布在所述第二循环槽的内部,所述第二循环槽的左侧 安装有循环管道。 [0016] 可选的,所述净化室还设有: [0017] 防水透气板,其安装在所述净化室的右侧,所述净化室的内部安装有第二喷淋头, 4 4 CN 113104817 A 说明书 2/6页 所述第二喷淋头的右侧连接有碱液管道,所述碱液管道的左侧连接有碱液箱。 [0018] 可选的澳门人威尼斯官网,所述第一循环槽还设有: [0019] 硫酸输送管,其安装在所述第一循环槽的内部,所述硫酸输送管的末端与所述精 制硫酸脱气塔相连接。 [0020] 可选的,所述精制硫酸脱气塔还设有: [0021] 水合肼箱,其固定在所述精制硫酸脱气塔的下方,所述水合肼箱的右侧安装有双 氧水箱; [0022] 联动轴,其安装在所述精制硫酸脱气塔的内部澳门人威尼斯。 [0023] 可选的,所述联动轴还设有: [0024] 搅拌棒,其等距均匀分布在所述联动轴的外壁; [0025] 驱动电机,其安装在所述联动轴的上方; [0026] 成品分析模块,其安装在所述联动轴的下方,所述成品分析模块的右侧安装有磁 力泵,所述磁力泵的输入端连接有PLC。 [0027] 可选的,所述硫酸储存罐还设有: [0028] 储气罐,其安装在所述硫酸储存罐的上方,所述储气罐的左侧安装有输气管道。 [0029] 可选的,所述精制酸吸收塔还设有: [0030] 传热管,其均匀分布在所述精制酸吸收塔的外部,所述传热管与所述精制酸吸收 塔之间相贴合。 [0031] 可选的,所述包括以下步骤:S、对液态三氧化硫进行低温加热使其达到微沸腾状 态; [0032] S1、将液态三氧化硫低温下微沸腾通入精制酸吸收塔; [0033] S2、在第一循环槽中加入电子级高纯水将第一循环槽中的硫酸浓度控制在98%; [0034] S3、硫酸在在第一循环槽和第二循环槽内循环吸收三氧化硫; [0035] S4、对第一循环槽和第二循环槽内的硫酸进行冷却; [0036] S5、将冷却后的硫酸分为二路,一路在第二循环槽进行喷淋让其吸收三氧化硫; [0037] S6、对产生的酸雾进行净化; [0038] S7澳门人威尼斯官网、冷却后的硫酸另一路进入精制硫酸脱气塔: [0039] S8、向精制硫酸脱气塔内加入双氧水和水合肼; [0040] S9、向精制硫酸脱气塔内通入精制压缩空气,并对其进行搅拌;S澳门人威尼斯官网、对搅拌后的硫酸 进行分析; [0041] S10澳门人威尼斯官网、排放符合标准的硫酸,并对其进行储存。 [0042] 本发明提供了精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产装置,具备以下有益效 果: [0043] 1、该精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产装置设置有输液管道能够将加热 室内加热的液态三氧化硫通入精制酸吸收塔内,通过循环管道能够使精制酸吸收塔内硫酸 循环流向第一循环槽和第二循环槽内,从而能够使硫酸循环吸收三氧化硫,高纯水箱能够 对电子级高纯水进行储存,通过高纯水管能够将高纯水输送至精制酸吸收塔内,避免了现 有的电子工业用硫酸生产方法及生产装置在生产硫酸过程中,易存在外部杂质伴随混合水 一起进入硫酸内,对硫酸生产的精度造成影响的问题。 5 5 CN 113104817 A 说明书 3/6页 [0044] 2、该精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产装置设置有净化室能够对生产过 程中产生的酸雾进行净化,防止其直接排放至外界影响空气质量,通过第二喷淋头能够将 碱液箱中的液体喷洒至净化室内,从而能够通过碱液中的碱成分与酸雾中的酸成分相互溶 解,从而达到对酸雾的净化作用。 [0045] 3、该精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产装置设置有硫酸输送管能够将第 一循环槽内冷却后的硫酸输送至精制硫酸脱气塔内,通过水合肼箱和双氧水箱能够分别对 水合肼和双氧水进行储存,驱动电机能够通过联动轴带动搅拌棒进行转动,转动的搅拌棒 能够对水合肼和双氧水与硫酸进行搅拌混合,从而通过其混合反应能够对酸中微量氮氧化 物进行溶解,解决了在生产硫酸过程中缺乏对酸中微量氮氧化物的溶解,影响所得硫酸的 品质的问题; [0046] 4、该精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产装置设置有成品分析模块能够对 搅拌后的硫酸进行成分分析,通过磁力泵能够将合格硫酸抽出,通过硫酸储存罐能够对抽 出的硫酸进行存储澳门人威尼斯4399。 [0047] 5、该精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产装置设置有传热管能够对硫酸生 产过程中产生的大量热量进行吸收,再传递至加热室外部,从而能够提高加热室的加热效 率,同时达到节能的效果。 附图说明 [0048] 图1为本发明主视结构示意图; [0049] 图2为本发明精制酸吸收塔的外部结构示意图; [0050] 图3为本发明净化室的左视结构示意图; [0051] 图4为本发明的工作流程示意图; [0052] 图5为本发明的方法步骤流程图。 [0053] 图中:1、精制酸吸收塔;2、加热室;3、输液管道;4、加热部件;5、第一循环槽;6、循 环管道;7、第二循环槽;8、第一喷淋头;9、出气口;10、净化室;11、防水透气板;12、第二喷淋 头;13、碱液管道;14、碱液箱;15、高纯水箱;16、高纯水管;17、硫酸输送管;18、水合肼箱; 19、双氧水箱;20、硫酸储存罐;21、驱动电机;22、精制硫酸脱气塔;23澳门人威尼斯官网、联动轴;24、搅拌棒; 25、输气管道;26、储气罐;27、PLC;28、磁力泵;29、成品分析模块;30、传热管。 具体实施方式 [0054] 下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完 整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。 [0055] 在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上;术语“上”、 “下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为 基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗 示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对 本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或 暗示相对重要性。 [0056] 在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连 6 6 CN 113104817 A 说明书 4/6页 接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接澳门人威尼斯37000,或一体地连接;可以是机 械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的 普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。 [0057] 请参阅图1至图5,本发明提供一种技术方案:精制98%电子工业用硫酸生产方法 及生产装置,包括: [0058] 精制酸吸收塔1,精制酸吸收塔1的左侧安装有加热室2,加热室2的内部安装有加 热部件4; [0059] 输液管道3,其安装在加热部件4的上方; [0060] 净化室10,其设置在精制酸吸收塔1的内部,净化室10的左侧设置有出气口9; [0061] 精制硫酸脱气塔22,其安装在精制酸吸收塔1的右侧; [0062] 高纯水箱15,其安装在精制硫酸脱气塔22的上方,高纯水箱15的左侧安装有高纯 水管16; [0063] 硫酸储存罐20,其固定安装在精制硫酸脱气塔22的右侧;高纯水箱15能够对电子 级高纯水进行储存,通过高纯水管16能够将高纯水输送至精制酸吸收塔1内,避免了现有的 电子工业用硫酸生产方法及生产装置在生产硫酸过程中,易存在外部杂质伴随混合水一起 进入硫酸内,对硫酸生产的精度造成影响的问题。 [0064] 输液管道3还设有: [0065] 第一循环槽5,其连接在输液管道3的末端,第一循环槽5的下方安装有第二循环槽 7;输液管道3能够将加热的液态三氧化硫通入精制酸吸收塔1内。 [0066] 第二循环槽7还设有: [0067] 第一喷淋头8,其均匀等距分布在第二循环槽7的内部,第二循环槽7的左侧安装有 循环管道6;通过循环管道6能够使精制酸吸收塔1内硫酸循环流向第一循环槽5和第二循环 槽7内,从而能够使硫酸循环吸收三氧化硫。 [0068] 净化室10还设有: [0069] 防水透气板11,其安装在净化室10的右侧,净化室10的内部安装有第二喷淋头12, 第二喷淋头12的右侧连接有碱液管道13澳门人威尼斯37000,碱液管道13的左侧连接有碱液箱14;净化室10能 够对生产过程中产生的酸雾进行净化,防止其直接排放至外界影响空气质量,通过第二喷 淋头12能够将碱液箱14中的液体喷洒至净化室10内,从而能够通过碱液中的碱成分与酸雾 中的酸成分相互溶解,从而达到对酸雾的净化作用。 [0070] 第一循环槽5还设有: [0071] 硫酸输送管17,其安装在第一循环槽5的内部,硫酸输送管17的末端与精制硫酸脱 气塔22相连接;硫酸输送管17能够将第一循环槽5内冷却后的硫酸输送至精制硫酸脱气塔 22内。 [0072] 精制硫酸脱气塔22还设有: [0073] 水合肼箱18,其固定在精制硫酸脱气塔22的下方,水合肼箱18的右侧安装有双氧 水箱19; [0074] 联动轴23,其安装在精制硫酸脱气塔22的内部;通过水合肼箱18和双氧水箱19能 够分别对水合肼和双氧水进行储存。 [0075] 联动轴23还设有: 7 7 CN 113104817 A 说明书 5/6页 [0076] 搅拌棒24,其等距均匀分布在联动轴23的外壁; [0077] 驱动电机21,其安装在联动轴23的上方; [0078] 成品分析模块29,其安装在联动轴23的下方,成品分析模块29的右侧安装有磁力 泵28,磁力泵28的输入端连接有PLC27;驱动电机21能够通过联动轴23带动搅拌棒24 进行转动,转动的搅拌棒24能够对水合肼和双氧水与硫酸进行搅拌混合,从而通过其混合 反应能够对酸中微量氮氧化物进行溶解澳门人威尼斯官网,解决了在生产硫酸过程中缺乏对酸中微量氮氧化 物的溶解,影响所得硫酸的品质的问题。 [0079] 硫酸储存罐20还设有: [0080] 储气罐26,其安装在硫酸储存罐20的上方,储气罐26的左侧安装有输气管道25;成 品分析模块29能够对搅拌后的硫酸进行成分分析,通过磁力泵28能够将合格硫酸抽出,通 过硫酸储存罐20能够对抽出的硫酸进行存储。 [0081] 精制酸吸收塔1还设有: [0082] 传热管30,其均匀分布在精制酸吸收塔1的外部,传热管30与精制酸吸收塔1之间 相贴合;传热管30能够对硫酸生产过程中产生的大量热量进行吸收,再传递至加热室2外 部,从而能够提高加热室2的加热效率,同时达到节能的效果。 [0083] 包括以下步骤:S1、对液态三氧化硫进行低温加热使其达到微沸腾状态; [0084] S2、将液态三氧化硫低温下微沸腾通入精制酸吸收塔1; [0085] S3、在第一循环槽5中加入电子级高纯水将第一循环槽5中的硫酸浓度控制在 98%; [0086] S4、硫酸在在第一循环槽5和第二循环槽7内循环吸收三氧化硫; [0087] S5、对第一循环槽5和第二循环槽7内的硫酸进行冷却; [0088] S6、将冷却后的硫酸分为二路,一路在第二循环槽7进行喷淋让其吸收三氧化硫; [0089] S7、对产生的酸雾进行净化; [0090] S8、冷却后的硫酸另一路进入精制硫酸脱气塔22: [0091] S9、向精制硫酸脱气塔22内加入双氧水和水合肼; [0092] S10、向精制硫酸脱气塔22内通入精制压缩空气,并对其进行搅拌; [0093] S11澳门人威尼斯4399、对搅拌后的硫酸进行分析; [0094] S12、排放符合标准的硫酸,并对其进行储存。 [0095] 综上,该精制98%电子工业用硫酸生产方法及生产装置澳门人威尼斯4399,使用时将800g的液态三 氧化硫投入加热室2内,启动加热部件4(型号:YDH605)对液态三氧化硫进行低温加热,使其 达到微沸腾状态,再通过输液管道3将加热的液态三氧化硫通入不锈钢材质的精制酸吸收 塔1内;其次通过高纯水管16从高纯水箱15内抽出180g的电子级高纯水将其输送至精制酸 吸收塔1内,采用电子级高纯水制备硫酸,避免了外部杂质进入硫酸,通过循环管道6使硫酸 在第一循环槽5和第二循环槽7内循环流动,800g三氧化硫与180g的水反应形成98%浓度的 硫酸,在此反应过程中散发出大量热量,通过纯钛材质的传热管30对热量进行吸收,再传递 至加热室2外部,从而即可提高加热室2的加热效率,或对加热室2的再次使用达到预热效 果,同时达到节能的效果;在其次硫酸制备过程中产生大量酸雾,酸雾通过防水透气板11进 入净化室10内,此时通过铜系镍基合金的碱液管道13将碱液箱14中的液体输送至第二喷淋 头12处,通过第二喷淋头12将碱液喷洒至净化室10内,从而通过碱液中的碱成分与酸雾中 8 8 CN 113104817 A 说明书 6/6页 的酸成分相互溶解,从而达到对酸雾的净化作用,净化后的酸雾可通过出气口9排出;然后 对制备的硫酸进行冷却,冷却后注塑级PTFE材质的硫酸输送管17能够将第一循环槽5内冷 却后第一循环槽5中的硫酸分为二路,一路留在精制酸吸收塔1内,通第一喷淋头8对其进行 喷淋使其吸收三氧化硫,另一路通过硫酸输送管17进入精制硫酸脱气塔22内;然后分别将 水合肼箱18内的水合肼和双氧水箱19内的双氧水输入至精制硫酸脱气塔22内,再通过输气 管道25将储气罐26内的精制压缩空气输送至精制硫酸脱气塔22内,启动驱动电机21(型号: DM542+57),驱动电机21通过联动轴23带动搅拌棒24进行转动,转动的搅拌棒24即可对水合 肼、双氧水与硫酸和精制压缩空气进行搅拌混合,从而即可对酸中微量氮氧化物进行溶解; 最后通过成品分析模块29对搅拌后的硫酸进行成分分析澳门人威尼斯官网,并将其分析数据传递至PLC控制 器27(型号:FX3U‑16MR‑ES‑A)处,当其符合SEMIC19‑90标准和SEMIC75‑93的标准时,PLC控 制器27控制磁力泵28(型号:MP‑15R)启动,通过磁力泵28将合格硫酸抽出至碳钢材质的硫 酸储存罐20内。 [0096] 以上,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何 熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明 构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。 9 9 CN 113104817 A 说明书附图 1/3页 图1 图2 10 10 CN 113104817 A 说明书附图 2/3页 图3 图4 11 11 CN 113104817 A 说明书附图 3/3页 图5 12 12

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