澳门人威尼斯一种电子级硫酸生产工艺的制作方法1、电子级硫酸广泛应用于集成电路制作工艺中,对自身的纯度要求较高,残留在基片及其相关设备上的有机污染物会对正常生产产生不良影响。常用的电子级硫酸的制备方法为精馏法,将浓度98%的工业级浓硫酸经过高温精馏后得到浓度98%左右的电子级硫酸,这种生产方法不仅能耗高,存在一定的安全隐患,且高温蒸馏出的硫酸会溶解玻璃设备中的部分不纯物,从而会影响制得硫酸的纯度。
4、将液体三氧化硫进行低温蒸发、氧化剂氧化、压缩冷凝、低温蒸发、吸附、过滤、吸收、冷却、脱气塔脱气、冷却、净化、调配,得到电子级硫酸;其中氧化剂的原料包括介孔二氧化硅、五氧化二钒、硫酸盐、活性炭。
5、通过采用上述技术方案,利用介孔二氧化硅、五氧化二钒、硫酸盐、活性炭组成的复合氧化剂,介孔二氧化硅作为载体,有利于氧化剂中活性组分的分散,硫酸盐澳门人威尼斯、活性炭可以提高五氧化二钒的催化活性,从而将三氧化硫中含有的二氧化硫快速转化成三氧化硫;且活性炭还能吸附小分子有机物以及杂质;另外经过两次低温蒸发可以有效去除原料中的杂质,从而提高了制得电子级硫酸的收率和纯度,同时把杂质二氧化硫变成可利用资源,减少了污染物的排放;且生产过程中无需在高温下进行,能耗低,安全隐患较小。
7、将十六烷基三甲基溴化铵溶解在乙醇溶液中,再加入氨水、,搅拌均匀,得到混合液;向混合液中滴入正硅酸四乙酯,搅拌反应,抽滤、干燥,焙烧,得到介孔二氧化硅;
8、将五氧化二钒先加热熔化,再水淬,接着搅拌形成溶胶澳门人威尼斯4399,溶胶陈化后得到五氧化二钒凝胶;将介孔二氧化硅、硫酸盐、活性炭搅拌混合均匀,研磨澳门人威尼斯,加入五氧化二钒凝胶,压制成型,干燥,焙烧,得到氧化剂。
10、在一个具体的可实施方案中,所述五氧化二钒、所述介孔二氧化硅、所述硫酸盐、所述活性炭的重量比为1:(8-12):(1.5-2.0):(0.4-0.6)澳门人威尼斯官网。
11、通过采用上述技术方案,本申请中进一步限定了五氧化二钒、介孔二氧化硅、硫酸盐、活性炭的配合,从而进一步提高了制得氧化剂的氧化效果。
15、通过采用上述技术方案,利用高纯特氟龙材料,可以有效去除原料中的阴阳离子等杂质,从而进一步提高了制得硫酸的纯度。
19、1.本申请中利用介孔二氧化硅、五氧化二钒、硫酸盐、活性炭组成的复合氧化剂,介孔二氧化硅作为载体,有利于氧化剂中活性组分的分散,硫酸盐、活性炭可以提高五氧化二钒的催化活性,从而将三氧化硫中含有的二氧化硫快速转化成三氧化硫;且活性炭还能吸附小分子有机物以及杂质;另外经过两次低温蒸发可以有效去除原料中的杂质,从而提高了制得电子级硫酸的收率和纯度,同时把杂质二氧化硫变成可利用资源,减少了污染物的排放;且生产过程中无需在高温下进行,能耗低,安全隐患较小;
20、2.本申请中先制备介孔二氧化硅,再制备五氧化二钒凝胶,最后将介孔二氧化硅、硫酸盐、活性炭搅拌,研磨,加入五氧化二钒凝胶,压制成型,干燥,焙烧,得到氧化效果较好的氧化剂;
21、3.本申请中利用10nm微通道进行过滤,且通过纳滤膜进行净化,从而进一步提高了制得硫酸的纯度。
2.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸生产工艺,其特征在于:所述氧化剂的制备方法包括以下步骤:
3.根据权利要求2所述的一种电子级硫酸生产工艺,其特征在于:所述五氧化二钒、所述介孔二氧化硅、所述硫酸盐、所述活性炭的重量比为1:(8-12):(1.5-2.0):(0.4-0.6)。
4.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸生产工艺,其特征在于:所述硫酸盐包括硫酸钠、硫酸钾、硫酸铷中的一种或多种。
5.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸生产工艺,其特征在于:所述低温蒸发步骤中温度为20-50℃。
6.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸生产工艺,其特征在于:所述吸附步骤中,利用高纯特氟龙材料进行吸附。
7.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸生产工艺,其特征在于:所述过滤步骤中澳门人威尼斯官网,通过10nm微通道进行过滤。
8.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸生产工艺,其特征在于:所述净化步骤中,通过纳滤膜进行净化。
本申请涉及硫酸制备的技术领域澳门人威尼斯4399,具体公开了一种电子级硫酸生产工艺。一种电子级硫酸生产工艺澳门人威尼斯4399,包括以下步骤:将液体三氧化硫进行低温蒸发、氧化剂氧化、压缩冷凝、低温蒸发、吸附、过滤、吸收、冷却、脱气塔脱气、冷却、净化、调配,得到电子级硫酸;其中氧化剂的原料包括介孔二氧化硅、五氧化二钒、硫酸盐、活性炭。本申请中利用介孔二氧化硅、五氧化二钒、硫酸盐、活性炭组成的复合氧化剂,将三氧化硫中含有的二氧化硫快速转化成三氧化硫澳门人威尼斯,且经过两次低温蒸发可以有效去除原料中的杂质,从而提高了制得电子级硫酸的收率和纯度,同时把杂质二氧化硫变成可利用资源,减少了污染物的排放。
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